高い空間分解能と導電性を有するカーボンナノチューブ探針

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

カーボンナノチューブ探針を使用した、試料表面の高精度スキャンと電気特性計測が可能なプローブ及びその製造方法に関する特許

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、カーボンナノチューブを備えた探針を使用するプローブ及びその製造方法に関する。カーボンナノチューブ探針は、その高い空間分解能により試料表面の精密なスキャンが可能であり、かつ高い導電性を活用した微小領域の電気特性計測も可能となる。しかし、これまではプローブ全体の導電性が不安定であったため、電気特性計測用途には使用されてこなかった。本特許では、この問題を解決するためカーボンナノチューブ探針を含めた全体を金属皮膜で被覆し、プローブ全体の導電性を確保する方法を提案している。

AIによる特許活用案

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高精度な電子顕微鏡の開発

この技術を活用することで、高精度な電子顕微鏡の開発が可能となる。カーボンナノチューブ探針を使用したプローブは、微小領域の電気特性を高精度に計測することが可能であるため、電子顕微鏡の精度を大幅に向上させることができる。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2015-136715
発明の名称: 走査型プローブ顕微鏡用のプローブの製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2017-020826
登録番号: 特許第6608634号

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