熱電材料を次のレベルへ - シリコン微結晶複合体膜の製造

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

高い電気伝導特性を持つシリコン微結晶複合体膜とその製造方法

相談したいこと

技術の特徴

本発明は、シリコン微結晶と鉄原子からなるシリコン微結晶複合体膜の製造方法について記述しています。シリコン微結晶は、金属とシリコンの合金を熱処理することで得られ、この複合体膜は、高い電気伝導特性、面熱性、耐酸化性、耐食性を有します。シリコンナノ結晶と金属シリサイドナノ結晶からなる半導体材料が、この複合体膜の主成分となっています。この製造方法は、金属とシリコンの合金を熱処理し、シリコンナノ結晶と金属シリサイド微結晶に相分離させることで得られます。このシリコン微結晶複合体膜は、電気伝導特性等に優れ、電極、高温構造物、耐環境用コーティングなどの材料として使用することが可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造電子工学素材科学

高温構造物の製造

高い電気伝導特性と耐環境性を有する本発明のシリコン微結晶複合体膜は、高温に耐えられる構造物の製造に活用することが可能です。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2015-129045
発明の名称: シリコン微結晶複合体膜、熱電材料及びそれらの製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: 特開2017-017068
登録番号: 特許第6502193号

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