IGZOの製造革新 - 簡便な手法で高品質なIGZOを！

国立大学法人室蘭工業大学

北海道室蘭市水元町２７番１号

この技術でできること

本特許は、金属インジウム、金属ガリウム、金属亜鉛、酸、水を用いたIGZO (酸化インジウムガリウム亜鉛) の製造方法に関する。

相談したいこと

技術の特徴

本発明は一般的なIGZOの製造方法を改良し、より簡便で安全な手法を提供します。金属インジウム、金属ガリウム、金属亜鉛と酸、水を混合し、水溶液Aを得ます。その水溶液Aと8-キノリノール類を混合し、沈殿物Bを析出させた後、沈殿物Bを焼成することによりIGZOを製造します。これにより、科便な手法で高品質のIGZOが得られます。また、8-キノリノール類が後述する式 (1) で表される化合物である場合も提供されます。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体業界電子部品製造業研究開発

半導体製造業界での利用

半導体製造業界でのIGZOの需要は高く、本特許の製造方法は、より簡便かつ安全に高品質なIGZOを製造できるため、生産効率の向上に直結します。これにより製品の品質向上とコスト削減が期待できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2015-051882
発明の名称: ＩＧＺＯの製造方法
出願人／権利者: 国立大学法人室蘭工業大学
住所: 北海道室蘭市水元町２７番１号
公開番号: 特開2016-169140
登録番号: 特許第6415363号

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