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光の力で最適な品質管理 - 先進の表面検査装置

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)

この技術でできること

物体表面の性状を光の偏光成分と色成分から検査・判断する表面検査装置です。

技術の特徴

本特許は、物体表面の性状を偏光成分と色成分から検査・判断する表面検査装置に関するものです。散乱光をP偏光成分とS偏光成分に分離し、それぞれを複数の波長の光の強度に関する検出画像として取得します。この検出画像から、偏光強度比相関パラメータと色強度比相関パラメータを取得し、これらの値に基づいて物体表面の性状を判断します。特徴量抽出から判断パラメータの算出、そして性状の判断までを行うことで、高精度な表面検査が可能になっています。

関連キーワード

品質管理表面検査光学検査偏光分析色分析

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品質管理の最適化

製品の表面状態はその品質を左右する重要な要素です。本特許の技術を導入することで、製品の表面状態を高精度に検査し、品質管理を最適化することが可能となります。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2015-013402
発明の名称
表面検査装置および表面検査方法、ならびにそのためのプログラムおよびそのプログラムの記録媒体
出願人/権利者
国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所
茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)
公開番号
特開2016-138790
登録番号
特許第6475027号
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