先進の波面歪み補償技術でより精密な光学測定を実現

国立研究開発法人理化学研究所

埼玉県和光市広沢２番１号

この技術でできること

レーザー走査型光学測定装置と広視野光学測定装置に最適化された、波面歪み量を補償する装置と方法が提供されます。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、レンズの焦点面に配置された測定対象物にレーザー光を導き、測定対象物上で走査することで光学測定を行うことができる装置と方法に関するものです。具体的には、波面変調器によって位相変調を与え、この位相変調を周期的に変化させることで、測定対象物から生じる光が結像される位置に配置された光検出器で光の強度を検出します。その結果から、波面歪み量を算出し、その波面歪み量を打ち消す位相変調を波面変調器に与えて補償します。これにより、高精度な光学測定が可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 光学機器製造業医療機器製造業半導体製造業

高精度な光学検査装置の開発

本技術は、光学検査装置の精度を高めるために活用することができます。波面歪みを補償することにより、より精密な光学検査が可能となります。製品の品質向上に寄与します。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2014-266374
発明の名称: 波面歪み量測定装置、波面補償装置、光学測定装置、および方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人理化学研究所
住所: 埼玉県和光市広沢２番１号
公開番号: 特開2016-125895
登録番号: 特許第6379031号

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