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プラズマ反応装置を利用した高性能DLC膜形成

学校法人東京電機大学

この技術でできること

筒型電極を用いて、より迅速かつ効率的にダイヤモンド状炭素(DLC)膜を形成するプラズマ反応装置の特許。

技術の特徴

この特許は、プラズマ反応装置を利用してダイヤモンド状炭素(DLC)膜を形成する方法について説明しています。特に、筒型電極を使用することで、基材の表面にDLC膜を迅速かつ効率的に形成することが可能です。この装置は、複雑な構造や中間層の形成なしで、DLC膜の密着性を向上させることができます。また、筒型電極の断面積はカソード電極の対向面の面積に対して19%であり、これにより最適な反応環境を提供します。DLC膜は高硬度であり、生体適合性、耐摩耗性、耐腐食性などに優れているため、医療分野や工業分野などの様々な分野での応用が期待されています。

関連キーワード

プラズマ反応装置ダイヤモンド状炭素DLC膜筒型電極高性能コーティング

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高性能切削工具の開発

このプラズマ反応装置を使用することで、DLC膜を切削工具の表面に形成し、その耐摩耗性と寿命を向上させることができます。これにより、長期間にわたり高い性能を維持する切削工具を開発することが可能になります。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号
特願2014-233732
発明の名称
プラズマ反応装置
出願人/権利者
学校法人東京電機大学
公開番号
特開2016-098383
登録番号
特許第6411869号
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