革新的な高解像度アプリケーションへのソリューション - 表面改質希土類ホウ化物エミッタ

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

希土類ホウ化物エミッタの表面改質方法に関する特許、これにより高輝度とエネルギーの広がりが低い電子ビームを生成。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、希土類ホウ化物エミッタの表面改質方法に関するものであり、電子放出部の表面を、前記希土類ホウ化物の内部から移動した希土類元素で終端する新たな手法を提供します。この改良により、電子放出部の表面に移動した希土類によって形成された空間、即ち空洞欠陥部が形成されます。この空洞欠陥部は、高輝度とエネルギーの広がりが低い電子ビームを生成します。特に、走査型電子顕微鏡（SEM）、透過型電子顕微鏡（TEM）、スキャン透過型電子顕微鏡（STEM）、電子ビームリソグラフィー装置などの高解像度アプリケーションにおいて、優れた性能を発揮します。さらに、本特許には電力供給部や電流計、論理デバイス部など、エミッタの操作に必要な機能も含まれています。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業医療機器製造業科学研究機関

高解像度顕微鏡の開発

本特許の技術を活用し、高輝度とエネルギーの広がりが低い電子ビームを生成する新たな高解像度顕微鏡を開発することが可能です。これにより、より高精度な観察が可能となり、科学研究や医療分野での利用が期待できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2014-166250
発明の名称: 希土類ホウ化物エミッタの表面改質方法、表面改質希土類ホウ化物エミッタ及び表面改質装置兼電子線源装置
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2016-042435
登録番号: 特許第6309860号

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