高精度軽元素分析装置とその分析手法

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

本特許は、イオンビーム顕微鏡を使用した軽元素分析装置とその分析手法に関するものです。

相談したいこと

技術の特徴

本特許では、2次イオン検出器にビーム通過孔が設けられた軽元素分析装置を提供します。この装置は、サンプル上の分析対象部をイオン検出面と電子検出面に対向配置し、分析対象部からの最短距離を特定の範囲内に設定します。対象部から放射された電子と2次イオンをそれぞれ検出し、電子を初めて検出した時点から2次イオンの飛行時間後のイオン強度を測定します。これにより、分析対象部での軽元素量を算出します。さらに、イオン強度の検出を行いながら、イオンビームを一方向に走査して線状領域の軽元素量を算出する手法や、イオンビームを一方向及びこれに直交する方向に走査して面状領域の軽元素量を算出する手法も含まれています。本特許は、軽元素分析の精度を大幅に向上させる可能性があります。

AIによる特許活用案

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高品質な素材開発のための軽元素分析

本特許技術を活用して、新素材の開発や既存素材の改善に使用可能です。具体的には、材料の軽元素の分布や量を高精度に分析することで、素材の特性をより詳細に理解し、最適化を図ることが可能になります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2014-132149
発明の名称: 軽元素分析装置及び軽元素分析方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2016-011840
登録番号: 特許第6367618号

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