高機能ガス流通管の取付具、効率を高める技術の新たな進化

古河機械金属株式会社

東京都千代田区大手町２－６－４

この技術でできること

半導体結晶膜を成長させる気相成長装置の反応炉でガスを流通させるガラス管の取り付け具。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、半導体結晶膜を成長させる気相成長装置の反応炉でガスを流通させるガラス管の取り付け具に関するものです。この取り付け具は金属管、環状のシール部材、ガラス管を保持する押圧部材、そして押圧部材を金属管に固定する止着部材から成り立っています。これらの部品は、ガラス管の外周面と金属管の内周面との間でシールを形成し、ガスの漏れを防ぐ役割を果たします。特に、シール部材は第1シール部材と第2シール部材から構成されており、それぞれが金属管の内部空間と、金属管及び管状部の外部空間との間でシールを形成します。これにより、ガスの流通が確実に行われるようになっています。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業化学工業ガラス製造業

高性能半導体の製造効率向上

この取り付け具を使用することで、半導体結晶膜を成長させる際のガスの流通が確実に行われ、製造効率が向上します。また、ガスの漏れを防ぐことで安全性も確保されます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2014-123578
発明の名称: ガス流通管の取付具及び気相成長装置
出願人／権利者: 古河機械金属株式会社
住所: 東京都千代田区大手町２－６－４
公開番号: 特開2016-004868
登録番号: 特許第6345497号

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