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革新的な光電変換素子の製造法を開発!

日本放送協会

この技術でできること

高感度撮像デバイスの画面欠陥問題を解決する新製造法

技術の特徴

本発明は、光電変換素子の製造方法とそれを適用した光電変換素子に関するもので、高感度撮像デバイスでの画面欠陥問題を解決します。特に、FOP基板表面の平坦性がHARP膜の動作に十分ではない問題を、機械的研磨とイオンエッチング法による平坦化処理を組み合わせることで克服しました。これにより、高電界印加動作時でも画面欠陥が発生せず、安定したアバランシェ増倍動作が可能となります。この製造方法によって作製される光電変換素子は、医療診断の分野などでの高精細なイメージングが期待されます。

関連キーワード

光電変換素子HARP膜FOP基板高感度撮像デバイス平坦化処理

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本発明の光電変換素子製造方法は、放射線医療診断装置の高性能化に貢献します。高電界印加動作時でも画面欠陥が発生しないため、より精密なイメージングが可能となります。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2014-093571
発明の名称
光電変換素子の製造方法
出願人/権利者
日本放送協会
公開番号
特開2015-211005
登録番号
特許第6518038号
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