革新的な走査型電子顕微鏡用標準試料とその評価方法

学校法人関西学院

兵庫県三田市学園２－１

この技術でできること

走査型電子顕微鏡の性能とSiC基板の品質を評価できる革新的な試料と方法

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、走査型電子顕微鏡の性能評価とSiC基板の品質評価に使用できる特殊な標準試料とその製造方法について述べています。試料は同心円状または相似六角形状のステップテラス構造を有し、中心から外側に向かって高さが増加します。テラスの幅は0.1m以上207m以下です。この試料は、4H-SiCまたは6H-SiCの基板表面に凹部を形成し、Si蒸気圧下で基板を加熱することで製造されます。この試料を用いて走査型電子顕微鏡の性能を評価したり、SiC基板の品質を評価したりします。

AIによる特許活用案

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品質管理の強化

この特許技術を活用することで、走査型電子顕微鏡の性能とSiC基板の品質を評価するための新たな手段を得ることができます。これにより、製品の品質管理をより厳密に行うことが可能になります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2015-036074
発明の名称: 走査型電子顕微鏡用標準試料、その製造方法、走査型電子顕微鏡の評価方法、及びＳｉＣ基板の評価方法。
出願人／権利者: 学校法人関西学院
住所: 兵庫県三田市学園２－１
公開番号: 特開2015-179082
登録番号: 特許第6525189号

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