高精度測定を可能にする新世代の斜入射干渉計

株式会社ミツトヨ

神奈川県川崎市高津区坂戸１－２０－１

この技術でできること

光量制御と測定光の遮光機能を持つ新型斜入射干渉計

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、斜入射干渉計に関するものであり、測定光の光量に基づいて光源から出射される光の光量を制御する光源制御部を備えることと、被測定面に対して斜め方向から測定光を照射し、被測定面から反射された測定光と参照光とを干渉させて被測定面の形状を測定することを特徴としています。また、測定光の一部を遮光する機能や、参照光の光量を検出し、その光量に基づいて可変減光フィルターによる減光量を制御する参照光制御部を備えています。これにより、より精度の高い測定が可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 光学産業精密機器製造業半導体製造業

精密な光学計測装置の開発

本特許を活用して、より精度の高い光学計測装置の開発が可能です。光源制御部や測定光遮光部、参照光制御部などの機能により、測定対象の表面形状をより高精度に測定することが可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2014-031522
発明の名称: 斜入射干渉計
出願人／権利者: 株式会社ミツトヨ
住所: 神奈川県川崎市高津区坂戸１－２０－１
公開番号: 特開2015-155865
登録番号: 特許第6345944号

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