精密な欠陥密度測定装置

日本放送協会

この技術でできること

欠陥密度に関するパラメータとゲート容量を反復計算し、最適化を行う欠陥密度測定装置

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、欠陥密度測定装置に関するもので、ゲート容量比較手段とパラメータ出力手段を備えています。比較を行った結果、所定の条件で一致しない場合、欠陥容度に関するパラメータ群の値を変更するパラメータ変更手段を有します。これにより、フェルミ準位、表面ボポテンシャル、ゲート容量を順次計算します。一致するまで、このパラメータ群の値の変更と計算を反復することが特徴です。また、欠陥密度に関するパラメータ群の中から予め定められた1又は2以上のパラメータについて、ゲート容量の測定値と計算値との一致度が向上するように最適化します。これにより、精度の高い欠陥密度の測定が可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造電子機器製造マイクロエレクトロニクス

最適化アルゴリズムの開発

本特許を活用し、欠陥密度に関するパラメータの最適化アルゴリズムを開発することで、より高度な半導体製品の開発が可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2014-163860
発明の名称: 欠陥密度測定装置及び欠陥密度測定プログラム
出願人／権利者: 日本放送協会
公開番号: 特開2015-079938
登録番号: 特許第6389395号

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