革新的な感度を持つ新世代のピエゾ抵抗表面応カセンサ

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

この特許は、高い感度を持つ新型のシリコン単結晶膜を用いたピエゾ抵抗表面応カセンサに関するものです。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、シリコン単結晶の膜を用いたピエゾ抵抗表面応カセンサに関するもので、従来のピエゾ抵抗カンチレバータイプのセンサと比較して優れた感度を持つことが特徴です。この新型センサは、シリコン単結晶膜の一部がp型である一方、膜の本体がn型であるという独自の構成を持ちます。その結果、固定端の対の一対が単結晶の[110]方向に、対の他の一対が単結晶の[1-10]方向に配置されることで、高い感度を実現しています。また、このセンサは、光学読み取りに関連する複雑でかさばった周辺機器を必要とせず、CMOSと同様の製造プロセスで量産化が可能、さらには超小型化による既存の半導体デバイスへの統合も可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体業界バイオセンサー業界ヘルスケア業界

超小型デバイスへの統合

この新型センサの超小型化を活かし、スマートフォンやウェアラブルデバイス等の既存の半導体デバイスに統合することで、リアルタイムでの環境モニタリングや健康状態の追跡が可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2014-226301
発明の名称: 表面応力センサ
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2015-045657
登録番号: 特許第5891465号

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