革新的な気相成長装置：安定した成長環境を保証
古河機械金属株式会社
東京都千代田区大手町２－６－４
この技術でできること
抵抗発熱体が断線しても温度条件に影響を与えずに堆積物を形成する気相成長装置
相談したいこと
技術の特徴
本特許は、気相成長装置と気相成長用加熱装置に関するもので、抵抗発熱体が断線した場合でもサセプタや基板の温度条件に影響を与えず、堆積物の形成を継続することが可能です。具体的には、加熱部が第1抵抗発熱体と第2抵抗発熱体を電気的に並列に接続し、それぞれの抵抗発熱体の両端間の中間に位置する結節点を相互に電気的に接続する接続導体を有します。これにより、一方の抵抗発熱体が断線しても、他方の抵抗発熱体が正常に作動し続け、結果的に温度条件を維持することができます。これにより、堆積物の品質と量を安定して確保することが可能となります。
関連キーワード
AIによる特許活用案
高品質な半導体製造
本特許の気相成長装置を用いることで、抵抗発熱体の断線による温度変動の影響を受けずに、堆積物の形成を続けることができます。これにより、半導体製造のプロセス中での品質管理をより厳密に行うことが可能となります。
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参考情報
活用条件
- サブスクリプション・未選択
- 権利譲渡・未選択
- ライセンス契約・未選択
- 商品化・サービス化
- ASK
- 実証実験
- ASK
- サンプル・プロトタイプ
- ASK
掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。
権利概要
- 出願番号
- 特願2013-150145
- 発明の名称
- 気相成長装置及び気相成長用加熱装置
- 出願人／権利者
- 古河機械金属株式会社
- 住所
- 東京都千代田区大手町２－６－４
- 公開番号
- 特開2015-023153
- 登録番号
- 特許第6253289号