最高の品質で堆積物を形成する気相成長装置

古河機械金属株式会社

東京都千代田区大手町２－６－４

この技術でできること

高温でも応力を吸収し、堆積物の形成を可能にする気相成長装置

相談したいこと

技術の特徴

この特許は、基板の加熱温度によって熱膨張するヒータケースとその応力を管理する気相成長装置に関するものです。特に、基板を高温に加熱する場合に、ヒータケースの熱膨張量が増大しすぎても、装置はその応力を吸収することができます。これにより、堆積物の形成に最適な温度を維持しながら、より効率的に堆積物を形成することが可能になります。装置はヒータケース、そのヒータケースを覆うヒータ、複数の支持部を備えており、ヒータケースはヒータと対向する面状の対向部を有します。この対向部には、各支持部と対応する通穴が形成され、各支持部は対応する通穴を貫通しながら周囲縁部を支持します。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造材料科学化学工業

高温下でも安定した半導体の製造

この気相成長装置は、ヒータケースの熱膨張を制御し、高温下でも安定した堆積物の形成を可能にするため、半導体製造業界での品質と生産効率の向上に大いに貢献できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2013-144928
発明の名称: 気相成長装置及び気相成長用加熱装置
出願人／権利者: 古河機械金属株式会社
住所: 東京都千代田区大手町２－６－４
公開番号: 特開2015-018924
登録番号: 特許第6129666号

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