非破壊的な電気接触を可能にする革新的なコンタクトプローブ

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

電気伝導性の折り曲げられた線状形状を有し、非破壊的な電気接触を可能にするコンタクトプローブ。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、電気伝導性を有する弾性体の支持体を備え、特定の物質を支持体の折り曲げ箇所に取り付けることで、物質を溶融させてから凝固させることにより、非破壊的な電気接触を可能にするコンタクトプローブに関するものです。さらに、物質の凝固後にその表面を他の導電性物質で被覆することで、絶縁性領域を形成し、その絶縁性領域の形成は絶縁性層の被覆により行います。また、この絶縁性層をフォトレジスト層とし、その開口部の形成はフォトレジストのレーザーによる起光及び露光後の現像により行います。このような構造により、薄膜との間の非破壊的な接触を実現し、薄膜の表面に沿って接触部を相対的に移動させることなく接触することが可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子機器製造業半導体製造業マイクロ電子学

非破壊的な試験装置の開発

この特許を活用して非破壊的な試験装置を開発することができます。電子機器や半導体などの微細な構造を損傷することなく電気的な性質を試験することが可能になります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2014-116359
発明の名称: コンタクトプローブ及びその製造方法、非破壊的なコンタクト形成方法、多層膜の製造過程における測定方法並びにプローバー
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2015-014595
登録番号: 特許第6408257号

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