高精度で応答特性に優れた容量型ガスセンサの製造方法

国立大学法人信州大学

長野県松本市旭３丁目１−１

この技術でできること

ナノカーボン材を利用した感応膜による容量型ガスセンサの製造方法を提供します。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、湿度センサ等として利用される容量型ガスセンサ及びその製造方法に関して述べられています。この製造方法は、感応膜の表面にナノカーボン材からなる第2の電極層を形成することで、高精度のガス検知が可能で、且つ応答特性に優れたセンサが製造できることを特徴としています。特に、ナノカーボン材は、単層カーボンナノチューブ、二層カーボンナノチューブ、グラフェンから選ばれる一種、もしくは複数種からなることが可能です。また、感応膜としては、フッ素化ポリイミド膜が好適に使用できます。これにより、水分以外の有機化合物あるいはガスを吸着すると誘電率が変化する感応膜を利用すれば、水以外のガスを検知するガスセンサとして構築することも可能となります。

AIによる特許活用案

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ガス検知装置の開発

本特許の技術を活用し、高精度で応答特性に優れたガス検知装置を開発することが可能です。特に、特定の有機化合物やガスを検知する専用のセンサとして活用することができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2014-109652
発明の名称: 容量型ガスセンサ及びその製造方法
出願人／権利者: 国立大学法人信州大学
住所: 長野県松本市旭３丁目１−１
公開番号: 特開2015-007618
登録番号: 特許第6370111号

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