高耐熱性抵抗体膜、その製造方法

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

ルテニウム酸化物に代替可能な高耐熱抵抗体膜とその製造法を特許化

相談したいこと

技術の特徴

本発明は、250-400度の高温に耐える抵抗体材料の製造法に関する。特に、銀、パラジウム、ルテニウム酸化物、有機金属化合物などを複合的に使用した抵抗体膜の製造手法を提供する。この製造法は、基材に抵抗体材料を塗布し、光照射あるいは焼成により抵抗体膜を作製する。さらに、先駆体溶液を基板上に塗布し、有機化合物層を形成、レーザー照射によりパターニングを行い、最終的に抵抗体膜を製造する。この製造法は、高耐熱性を持つ導電材料の開発、特に酸化ルテニウムに代わる導電材料の開発に利用できる。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子部品製造業半導体製造業電気機器製造業

高耐熱性抵抗体膜の製造

高温環境下での使用を想定した電子部品の製造に活用できる。特に、シリコンカーバイドを使用したパワーエレクトロニクス分野など、動作温度が高い部品の製造に適している。

続きの活用案は会員限定です

無料登録またはログイン後に、公開範囲に応じて確認できます。

参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2014-095631
発明の名称: 抵抗体材料、抵抗体膜及びその製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: 特開2014-239212
登録番号: 特許第6455913号

登録情報の修正申請