光電池による革新的な電力供給

富士通株式会社

神奈川県川崎市中原区上小田中４－１－１

この技術でできること

無線給電を可能にする光電池に関する技術

相談したいこと

技術の特徴

本発明は、リソグラフィー技術における電力供給問題を解消するための新技術に関連しています。特に、EUV（極紫外）光を用いたリソグラフィー技術における電力供給の課題を光電池により解決します。EUV露光マスクの動作中に電源を配置する必要があり、重い電池を備えることは様々な問題を引き起こす可能性があります。これらの問題を解決するために、本発明では光電池を用いた無線給電の方式を提案します。この方式では、EUV露光装置側に送電機構を、ベリクル側に受電機構を設置します。これにより、装置構成の複雑化や送受電デバイスの設置スペース等の問題を解消します。

AIによる特許活用案

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ナノリソグラフィー装置の電力供給

本発明を用いることで、ナノリソグラフィー装置の電力供給を改善可能です。装置内部への電池等の設置によるスペースの問題や重量の問題を解消し、装置の小型化や高性能化を実現します。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2013-110957
発明の名称: 光電池
出願人／権利者: 富士通株式会社
住所: 神奈川県川崎市中原区上小田中４－１－１
公開番号: 特開2014-229864
登録番号: 特許第6069706号

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