プラズマエッチングの新時代: 高精度かつ効率的な装置

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

本特許は、エッチングガスの吹き付け方向と交差する方向にステージを移動させる機能と、ウェハを冷却する部分を含む高効率のプラズマエッチング装置に関する。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、高精度なプラズマエッチングを実現する装置に関する。特許によれば、プラズマエッチング装置は、直線状の複数の挿通孔が平行に等間隔に設けられたノズルと、前記挿通孔を有する管体を複数備える。これら複数の管体は平行かつ等間隔に配置され、ウェハを冷却する冷却部が設置される。また、ノズルからのエッチングガスの吹き付け方向に交差する方向にステージを移動させるスキャン部を具備することが特徴である。この方式により、エッチングプロセスの精度と効率性を向上させることが可能となる。

AIによる特許活用案

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プラズマエッチング装置の製造

本特許の技術を使用して、新たなプラズマエッチング装置を製造する。この装置は、エッチングガスの吹き付け方向と交差する方向にステージを移動させ、ウェハを冷却する冷却部を具備することにより、エッチングプロセスの精度と効率性を向上させる。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2014-035544
発明の名称: ノズル式のプラズマエッチング装置
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: 特開2014-212302
登録番号: 特許第6292470号

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