真空内での高精度直線移動が可能な直線駆動導入器

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

真空内で使用する検出器や光学素子、材料等の位置制御を可能にする直線駆動導入器の特許

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、大気側から真空側へ直線移動させるための移送機に関するもので、特に中空型構造とすることが出来、上真空内で使用する検出器や光学素子、材料等の位置制御を可能にする直線駆動導入器等に関する。特許文献2-5の技術では、可動部の前後を伸縮自在なベローズで連結するために、中空型構造とすることが出来ず、大気側から真空側へ機器を直線移動させるための移送器としては用いることが出来なかった。本特許では、その問題を解決し、装置の小型化も可能としている。

AIによる特許活用案

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真空内での精密な位置制御が必要な装置の開発

上真空内で使用する検出器や光学素子、材料等の位置制御が必要な装置に本特許の技術を適用することで、高精度な直線移動が可能となり、装置の性能向上が期待できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2013-043248
発明の名称: 直線駆動導入器
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: 特開2014-170497
登録番号: 特許第6066073号

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