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再現性と量産性を兼ね備えた均一組成の固溶体単結晶製造法

国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構

東京都調布市深大寺東町7-44-1

この技術でできること

本発明は、均一組成の固溶体(混唱)単結晶を再現性良く量産することに適した固溶体単結晶の製造方法を提供します。

技術の特徴

この特許は、均一な組成及び単結晶性を有する固溶体を再現性良く且つ量産性良く製造する方法に関するものです。具体的には、種結晶と、種結晶の外周側に配された融液形成材、そして融液形成材の外周側に配された固体原料とを備える複合材を用います。この複合材を外周部が内側よりも高温となるよう加熱し、融液形成材を溶融させて溶融帯を形成し、結晶を成長させつつ溶融帯を複合材の外周側に移動させます。これにより、複合材の外周側に向かって結晶を成長させることが可能となります。この方法により、中心から外周へ向かって均一な組成を有する固溶体単結晶を製造することが可能となり、さらに、任意の長さにわたり均一な組成を有する固溶体単結晶を量産することが可能です。

関連キーワード

固溶体単結晶再現性量産性種結晶融液形成材

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均一な組成の半導体素材の製造

この製造法を用いれば、半導体素材として均一な組成の単結晶を量産することが可能となります。これにより、品質の均一性を保ちつつ、大量生産が可能となるため、製品のコスト削減及び品質向上に貢献できます。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2012-234972
発明の名称
固溶体単結晶製造方法
出願人/権利者
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構
住所
東京都調布市深大寺東町7-44-1
公開番号
特開2014-084254
登録番号
特許第6037380号
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