革新的な酸化亜鉛結晶層製造装置

国立大学法人　熊本大学

熊本県熊本市中央区黒髪２－３９－１

この技術でできること

ミスト化学気相成長法により、酸化亜鉛結晶層の製造を効率化し、コストを削減する装置

相談したいこと

技術の特徴

本装置は、酸化亜鉛結晶層製造において、高効率かつ低コストを実現するための革新的な技術です。原料溶液を霧化し、キャリアガスにより基板上に搬送することで、酸化亜鉛結晶層を形成します。装置は、成長室、ミスト発生器、キャリアガス供給手段、供給管を備えています。特に、成長室は回転ステージ、基板、ヒーター、ノズルを有しています。基板はm面サファイア基板であり、ノズルは基板との距離を可変可能なノズルであることが特徴です。この機構により、酸化亜鉛結晶層の製造プロセスが大気圧下で行えるため、真空プロセス等の設備を必要とせず、製造コストを抑えることが可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体業界LED製造業界マテリアルサイエンス業界

LED製造プロセスの改善

本装置を使用することで、発光ダイオード(LED)の製造プロセスにおける酸化亜鉛結晶層の形成を効率化し、製造コストを大幅に削減することが可能です。特に、インジウムの枯渇に伴う代替材料として注目されている酸化亜鉛の製造における有力な選択肢となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2013-033503
発明の名称: 酸化亜鉛結晶層の製造方法及びミスト化学気相成長装置
出願人／権利者: 国立大学法人　熊本大学
住所: 熊本県熊本市中央区黒髪２－３９－１
公開番号: 特開2014-063973
登録番号: 特許第6137668号

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