成膜装置のクリーニング終了を正確に検知！

大陽日酸株式会社

東京都品川区小山１－３－２６

この技術でできること

高精度のクリーニング終点検知方法を利用したフッ素系ガス供給装置

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、成膜装置を構成する部材に付着した堆積物のクリーニング終点を高精度に検知する方法について述べています。具体的には、真空状態のチャンバ内でクリーニングガスとしてフッ素系ガスを供給開始し、その排ガスの圧力を連続的に測定します。さらに、排ガスに含まれるフッ素ガスの吸光度を連続的に測定し、これに基づいてフッ素ガスの濃度を取得します。この濃度と圧力に基づき、クリーニングの終点を検知します。終点検知後は、フッ素系ガスの供給を停止します。この方法により、クリーニングの終点検知の精度を向上させ、成膜装置を構成する部材の損傷を抑制することが可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業電子機器製造業化学工業

半導体製造プロセスの効率向上

この特許技術を半導体製造に応用することで、薄膜成長装置のクリーニング終了を正確に判定し、製造プロセスの効率と品質を向上させることが可能となります。また、装置の早期劣化を防止し、長期的な運用コストを削減することも期待できます。

続きの活用案は会員限定です

無料登録またはログイン後に、公開範囲に応じて確認できます。

参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2012-193268
発明の名称: クリーニング終点検知方法
出願人／権利者: 大陽日酸株式会社
住所: 東京都品川区小山１－３－２６
公開番号: 特開2014-049684
登録番号: 特許第5973850号

登録情報の修正申請