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高密度記録のための革新的スパッタリングターゲット

三菱マテリアル株式会社

東京都千代田区丸の内三丁目2番3号

この技術でできること

ハードディスクの高密度磁気記録媒体に適用される磁気記録膜を形成するためのスパッタリングターゲット及びその製造方法についての特許技術。

技術の特徴

この特許では、ハードディスクの高密度磁気記録媒体に適用される磁気記録膜を形成するためのスパッタリングターゲット及びその製造方法について述べられています。特に、垂直磁気記録または熱アシスト磁気記録の媒体に適用される磁気記録膜の形成に焦点を当てています。この特許では、従来の技術に残されていた課題を解決しようとしています。具体的には、FePt-C膜を得るために必要だった二種類のスパッタリングターゲットの必要性を排除し、Cのスパッタリングターゲットから発生するC粉のパーティクルによる異常放電の問題を解決しています。さらに、Bを添加したCoPt膜の問題も解決しています。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2012-184728
発明の名称
磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲットおよびその製造方法
出願人/権利者
三菱マテリアル株式会社
住所
東京都千代田区丸の内三丁目2番3号
公開番号
特開2014-041682
登録番号
特許第6108064号
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