高精度ナノシート単層膜作製法：スピンコート法の革新
国立研究開発法人物質・材料研究機構
茨城県つくば市千現１－２－１
この技術でできること
スピンコート法を用いた、ナノシート単層膜からなる薄膜の製造方法とその用途に関する特許です。
相談したいこと
関連キーワード
AIによる特許活用案
高性能半導体の製造
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参考情報
活用条件
- サブスクリプション・未選択
- 権利譲渡・未選択
- ライセンス契約・未選択
- 商品化・サービス化
- ASK
- 実証実験
- ASK
- サンプル・プロトタイプ
- ASK
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権利概要
- 出願番号
- 特願2012-177153
- 発明の名称
- スピンコート法によりナノシート単層膜からなる薄膜を製造する方法、それによる超親水化材料、酸化物薄膜用基板、および、誘電体材料
- 出願人／権利者
- 国立研究開発法人物質・材料研究機構
- 住所
- 茨城県つくば市千現１－２－１
- 公開番号
- 特開2013-253009
- 登録番号
- 特許第5984089号