高感度センサー技術の新時代へ！

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

コアノシェル構造金属酸化物マイクロベルトを使用した高感度センサー技術とその製造方法

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、コアノシェル構造金属酸化物マイクロベルトとその製造方法、そしてこれを用いた高感度の湿度センサーと歪みセンサーに関するものです。コア部とシェル部で構成される金属酸化物マイクロベルトは、コア部が単結晶又は多結晶からなり、シェル部の厚さが0.5μm未満であることが特徴です。これらのマイクロベルトは、酸化すず、酸化亜鉛、酸化インジウムの金属酸化物の粉末、酸化ガリウムの粉末、炭素粉末を混合し、その混合粉末を入れたボートをガス管中に配置して加熱することで製造されます。また、湿度センサーや歪みセンサーとしての利用も可能で、その一端と他端にそれぞれ接続した一の電極と他の電極を有することが特徴です。これにより、高感度で精度の良いセンサーの製造が可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 センサー産業電子機器ナノテクノロジー

高感度湿度センサーの製造

本特許の技術を活用し、極めて精度の高い湿度センサーを製造することが可能です。これにより、精密な湿度管理が必要な研究や産業、例えば、バイオテクノロジーや食品産業などにおいて、より詳細かつ正確な湿度制御を行うことが可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2012-243074
発明の名称: コア／シェル構造金属酸化物マイクロベルト、その製造方法、湿度センサー及び歪みセンサー
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2013-250256
登録番号: 特許第6160989号

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