先進的な薄膜試料の比表面積測定装置

国立大学法人広島大学、マツダ株式会社

広島県安芸郡府中町新地３番１号

この技術でできること

特定の元素を含む薄膜試料の比表面積を精密に測定する装置

相談したいこと

技術の特徴

この装置は、特定の元素を含む薄膜試料の比表面積を測定します。X線を上記膜に照射し、放出された電子と蛍光X線を検出します。これにより、特定元素の表面積に比例する電子収量と特定元素の量に比例する蛍光X線収量が得られます。これらのデータに基づき、薄膜における特定元素に係る比表面積を算出します。そのため、この装置は精密な表面積の測定を可能にします。また、装置はX線の吸収係数に関するスペクトルを得ることで、さらに詳細な分析が可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 材料科学半導体製造化学工業

材料研究への適用

この装置は、新しい材料の開発や既存材料の改良における研究に使用できます。特定の元素を含む薄膜の比表面積の正確な測定は、材料の性質とその性能を理解し、改善する上で重要です。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2012-032066
発明の名称: 薄膜試料の比表面積測定方法及び装置
出願人／権利者: 国立大学法人広島大学、マツダ株式会社
住所: 広島県安芸郡府中町新地３番１号
公開番号: 特開2013-167584
登録番号: 特許第5919024号

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