光誘起キャリヤライフタイム測定装置 - 半導体素材の性能を最大限に引き出す

国立大学法人東京農工大学

東京都小金井市中町２－２４－１６

この技術でできること

半導体の品質と性能を確認するための、高精度な光誘起キャリヤライフタイム測定装置の開発

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、半導体の品質と性能を確認するための光誘起キャリヤライフタイム測定装置およびその方法に関するものです。具体的には、半導体基体に対して波長の異なる連続光を照射し、マイクロ波強度を検出することで、実効キャリヤライフタイムを算出します。さらに、バルクキャリヤライフタイムおよび表面再結合速度を求めることが可能です。これにより、半導体の品質や性能をより正確に評価でき、製品の信頼性や効率を向上することが可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業電子機器製造業研究開発業

高品質半導体の製造

本特許の技術を用いて、半導体の品質や性能を正確に評価することで、製品の高品質化を図ることが可能です。これにより、製品の信頼性を高め、顧客満足度を向上させることができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2012-253129
発明の名称: 光誘起キャリヤライフタイム測定装置及び光誘起キャリヤライフタイム測定方法
出願人／権利者: 国立大学法人東京農工大学
住所: 東京都小金井市中町２－２４－１６
公開番号: 特開2013-145868
登録番号: 特許第6052536号

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