革新的な導電性セラミック焼結体の製造技術

島根県、日本重化学工業株式会社、竹内電機株式会社、吉田　豊信

島根県松江市北陵町１

この技術でできること

セラミック焼結体に導電性、誘電性、熱伝導性などの機能性を付与する新たな技術

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、セラミック焼結体に導電性や誘電性、熱伝導性などの機能性を付与する技術について説明しています。半導体製造技術の進歩に伴い、配線パターンの微細化技術が必要とされています。この技術は、これらの要求に対応するために開発されました。特に、反応性イオンエッチング技術との組み合わせにより、微細パターンの形成が可能となります。また、耐プラズマ性に優れたセラミック材料を使用することで、真空容器構成部材へのダメージを防止します。さらに、導電性を持つセラミック焼結体の製造方法も提供し、これにより、一般的な導電性付与物質を多量に含む場合に見られる耐プラズマ性の劣化といった問題を解決します。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業電子部品製造業材料開発業

高性能半導体の製造

この技術を活用することで、耐プラズマ性と導電性を兼ね備えた高性能な半導体を製造することが可能です。これにより、半導体の性能向上や製造コストの削減が期待できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2012-005841
発明の名称: セラミック焼結体の製造方法および機能性セラミック焼結体
出願人／権利者: 島根県、日本重化学工業株式会社、竹内電機株式会社、吉田　豊信
住所: 島根県松江市北陵町１
公開番号: 特開2013-144622
登録番号: 特許第6047779号

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