革新的な基板搬送装置で生産性を飛躍的に向上

東京応化工業株式会社

神奈川県高座郡寒川町田端１５９０

この技術でできること

本発明は、基板の取り扱いを改善し、製造工程を効率化する基板搬送装置と基板処理装置に関する。

相談したいこと

技術の特徴

本発明の基板搬送装置は、組み込みの調整時間を短縮し、効率的な基板の搬送と処理を可能にします。シャフトの取り付け精度を要求する基板に対する処理品質を確保することが可能で、その結果、製造時間とコストを大幅に削減することができます。搬送ローラの組み立て性を考慮に入れ、連結部材が径方向の位置ズレを許容することで、組み立て時の調整時間を短縮することが可能です。また、基板の搬送方向におけるローラの配置を工夫することで、搬送効率と処理品質を向上させることが可能です。特に、基板の搬送と処理における問題を解決するための優れた手段を提供します。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業電子部品製造業LCDパネル製造業

生産ラインの効率化

本装置の導入により、搬送ローラの組み立て性が向上し、組み立て時の調整時間が短縮されることで基板の生産ラインの効率が向上します。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2011-252456
発明の名称: 基板搬送装置及び基板処理装置
出願人／権利者: 東京応化工業株式会社
住所: 神奈川県高座郡寒川町田端１５９０
公開番号: 特開2013-110195
登録番号: 特許第5923281号

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