極性分布を制御したウルツ鉱型結晶膜

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

特定の金属をドープすることで極性分布割合を制御したウルツ鉱型結晶膜の製造方法

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、特定の金属をドープすることで極性分布割合を制御したウルツ鉱型結晶膜の製造方法に関するものです。ウルツ鉱型結晶膜は、化学溶液を基材に塗布し、その塗布膜を乾燥し、乾燥した膜を焼成することで製造されます。この化学溶液には、ウルツ鉱型結晶膜となるZn化合物とリチウム(Li)元素が含まれています。また、塗布工程は、スピンコート法、スプレーコート法、ディップコート法、シルクスクリーン印刷法、またはインクジェット印刷法のいずれかを用いて行います。さらに、塗布、乾燥、焼成の工程は一セットとし、これを複数回行うことも可能です。

AIによる特許活用案

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高性能半導体の製造

極性分布を制御したウルツ鉱型結晶膜は、半導体の製造において重要な役割を果たします。特に、高性能かつ耐久性のある半導体を製造するためには、極性制御が必要となります。本特許の製造方法を用いれば、高品質なウルツ鉱型結晶膜を効率的に製造することが可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2011-251901
発明の名称: ウルツ鉱型結晶膜およびその製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: 特開2013-107782
登録番号: 特許第5936028号

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