高純度で小粒径な六ホウ化ランタン微粒子製造技術

住友大阪セメント株式会社

東京都港区東新橋１－９－２　汐留住友ビル２０階

この技術でできること

高純度で粒径が小さい六ホウ化ランタン微粒子の製造方法とその利用についての特許です。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は六ホウ化ランタン（LaB6）微粒子の製造方法について詳述しています。高純度で粒径が小さいLaB6微粒子は、スパッタリングターゲットとして使用され、有機半導体デバイスの製造に利用されます。本発明のLaB6微粒子は、炭素元素含有量が0.1質量%以上1質量%以下、酸素元素含有量が1質量%以下であり、平均粒径が50nm以上160nm以下です。これらの微粒子は、高純度かつ粒径が小さいため、スパッタリングにおけるターゲット材料として優れた性能を発揮します。さらに、六ホウ化ランタン焼結体や太ホウ化ランタン膜、有機半導体デバイスの製造にも利用可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業電子材料製造業有機半導体業界

高純度なスパッタリングターゲットの提供

本製造方法を用いて作られた高純度で小粒径の六ホウ化ランタン微粒子は、スパッタリングターゲットとして用いられ、高品質な半導体デバイスの製造に寄与します。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2012-076974
発明の名称: 六ホウ化ランタン微粒子の製造方法、六ホウ化ランタン微粒子、六ホウ化ランタン焼結体、六ホウ化ランタン膜及び有機半導体デバイス
出願人／権利者: 住友大阪セメント株式会社
住所: 東京都港区東新橋１－９－２　汐留住友ビル２０階
公開番号: 特開2012-214374
登録番号: 特許第5910242号

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