革新的な三次元表面精密測定装置

国立大学法人九州工業大学

福岡県北九州市戸畑区仙水町１番１号

この技術でできること

高精度な三次元表面の計測を可能にする、レーザ照射を活用した装置と方法を提供します。

相談したいこと

技術の特徴

本装置は、三次元の微小凹凸面の上に溶液を介してレーザ光を照射します。そして、微小凹凸面から散乱及び回折した光を光学的にフーリエ変換し、そのフーリエ変換像を光強度分布として電気信号に光電変換します。得られた光強度分布の波形を基本波数及び少なくとも一つの高調波数に分解し、それぞれの波長とその振幅をスペクトル情報として抽出します。この情報を用いて、三次元の微小凹凸面の形状を評価することが可能です。また、本装置はポリシングパッドの解析手法に利用する製造プロセスや実装プロセスで活用でき、半導体や液晶製造工程においても有効です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造液晶製造精密機械製造

製造プロセスの精密化

本装置を製造プロセスに導入することで、製品の表面形状を高精度に測定し、製造精度を向上させることが可能です。特に、微細な凹凸を持つ製品の品質管理に活用できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2011-266969
発明の名称: 三次元表面の計測装置及び方法
出願人／権利者: 国立大学法人九州工業大学
住所: 福岡県北九州市戸畑区仙水町１番１号
公開番号: 特開2012-137484
登録番号: 特許第5892591号

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