高分解能な視覚体験を提供する、エミッタを用いた電子銃

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

高輝度な観察画像を実現するエミッタ、それを活用した電子銃、および電子機器の製造方法についての特許。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤを用いたエミッタに関するもので、エミッタは特定の結晶方向に一致する手方向を持つ。また、ナノワイヤは特定の長さ範囲を持ち、それを含むエミッタを備えた電子銃の製造方法も開示されている。電子銃は、ニードルとフィラメントをさらに備え、ナノワイヤは選択された元素からなるニードルを介してフィラメントに取り付けられている。さらに、この電子銃は冷陰極電界放出電子銃またはショットキー電子銃であり、それを備えた電子機器は、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、走査型透過電子顕微鏡、オージェ電子分光器などから選択される。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子機器製造業マイクロスコープ製造業半導体製造業

高性能電子顕微鏡の開発

この特許技術を用いることで、高分解能かつ高輝度な観察画像を得ることが可能となり、より詳細な観察が可能となる電子顕微鏡の開発が期待されます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2021-530001
発明の名称: エミッタ、それを用いた電子銃、それを用いた電子機器、および、その製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: WO2021/002305
登録番号: 特許第7168269号

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