革新的な走査ミラー製造方法！

国立大学法人東北大学

宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉６－６－１０　未来科学技術共同研究センター２階

この技術でできること

シリコン製のトーションバーを用いた、静電アクチュエータを含む高性能走査ミラーの製造方法

相談したいこと

技術の特徴

本発明は、シリコン製の走査ミラーとその製造方法に関するもので、走査ミラーはトーションバーとミラー部を備えています。このトーションバーに沿った軸を中心として前記ミラー部を回動可能にします。ミラー部とトーションバーはシリコン製で、これらを形成した後、少なくとも前記トーションバーの表面に、原子層堆積法によりALD層を形成します。さらに、静電アクチュエータを有し、電極間に電圧を加えることでトーションバーに力を与え、ミラー部を回動させます。静電アクチュエータの各電極の表面にも、原子層堆積法によりALD層を形成します。これにより、高性能で耐久性のある走査ミラーを製造することが可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子機器製造業光学機器製造業医療機器製造業

ハイスピードスキャナの開発

本特許は、高速スキャニングが要求される分野におけるハイスピードスキャナの開発に活用できます。静電アクチュエータを用いた本発明の走査ミラー製造方法は、高速かつ正確なスキャニングを可能にします。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2020-545752
発明の名称: 走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法
出願人／権利者: 国立大学法人東北大学
住所: 宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉６－６－１０　未来科学技術共同研究センター２階
公開番号: WO2020/241153
登録番号: 特許第6795165号

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