高精度な視覚体験を提供するエミッタと電子銃

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

ハフニウムを用いたエミッタと電子銃、そしてそれらを用いた電子機器の製造方法に関する特許

相談したいこと

技術の特徴

この特許は、ハフニウムを用いたエミッタと電子銃、そしてそれらを用いた電子機器の製造方法について述べています。エミッタはハフニウムの酸化物、窒化物、または酸窒化物で被覆されており、その厚さは1nm以上5nm以下です。電子銃はこのエミッタを用いており、さらにニードルとフィラメントも備えています。製造方法では、炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤを真空中で加熱するステップが含まれます。電子銃を用いた電子機器は、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、走査型透過電子顕微鏡、オージェ電子分光器、電子エネルギー損失分光器、および、エネルギー分散型電子分光器から選択されます。

AIによる特許活用案

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高性能電子顕微鏡の開発

この特許に記載されたエミッタと電子銃の技術を使用して、高分解能かつ高輝度な観察画像が得られる電子顕微鏡を開発することができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2019-557110
発明の名称: エミッタ、それを用いた電子銃、それを用いた電子機器、および、その製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: WO2019/107113
登録番号: 特許第6804120号

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