高精度検査が可能な高周波特性検査装置の制御方法

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

プローブの回転軸周りの基準角度を決定し、高周波信号を導電体面に出力する高周波特性検査装置の制御方法。

相談したいこと

技術の特徴

この特許は、ベクトルネットワークアナライザを制御し、プローブの回転軸周りの異なる角度において高周波信号を導電体面に出力する制御方法を提供しています。その際、シグナル端子の先端とグランド端子の先端の接触状態を変化させながら信号を出力します。また、Sパラメータを基に、プローブの回転軸周りの基準角度を決定します。プローブの回転軸周りの角度の変化に対して、Sパラメータが複素平面上の所定の領域から当該所定の領域内に入った時や領域外に出た時の角度を求め、その平均値を基準角度とします。これにより、高精度な検染が可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2019-541027
発明の名称: プローブの角度を決定する方法、高周波特性検査装置、プログラム及び記憶媒体
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: WO2019/050001
登録番号: 特許第6858380号

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