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「極微細世界を読み解く、プラズモン共鳴を利用した分光デバイス」

国立大学法人東北大学

宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-10 未来科学技術共同研究センター2階

この技術でできること

「シリコン基板を使用した透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス及びその製造方法に関する特許」

技術の特徴

「本特許は、シリコン基板と酸化ハフニウム層を持つ透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス及びその製造方法に関するものです。本デバイスは、金属薄膜表面のプラズモン共鳴を利用し、分光を行います。分光器の材料として、酸化ハフニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化チタン、窒化シリコン、酸化シリコン、炭化ケイ素、窒化ガリウムなどを選択可能です。また、基板の材料として、シリコン、Ge、InGaAs、GaN、GaAs、AlGaAs、GaAsP、GaPなどを選択可能です。このデバイスは、分光器の小型化を可能にし、微調整によるコストを削減します。」

関連キーワード

分光デバイスプラズモン共鳴金属薄膜導波モード共鳴シリコン基板

AIによる特許活用案

おすすめ業界 光学産業半導体産業医療機器製造業

「小型分光器の開発」

「本特許の技術を利用することで、従来よりも小型で高精度な分光器の開発が可能となります。特に医療機器や光学機器の分野での利用が期待できます。」

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2019-537584
発明の名称
透過型導波モード共鳴格子一体型分光デバイス及びその製造方法
出願人/権利者
国立大学法人東北大学
住所
宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-10 未来科学技術共同研究センター2階
公開番号
WO2019/039371
登録番号
特許第7268880号
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