新世代のフレキシブル基板製造技術

国立大学法人　琉球大学

沖縄県中頭郡西原町字千原１番地

この技術でできること

樹脂基材にレーザーアニール処理を施し、熱に耐えるフレキシブル基板を製造する方法。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、スパッタリング法を用いて樹脂基材上にチタン層を形成し、その上にZnS-SiO、SiO、またはSiNのバッファ層を形成する方法を示しています。さらに、バッファ層の上にシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜の絶緑層を形成し、その層の上にアモルファスシリコン層を形成します。最後に、アモルファスシリコン層の表面温度が1,600K以上であって2,000Kを超えない範囲でレーザーアニール処理を施します。このレーザーアニール処理は、波長190-400nm、パルス幅15-50ns、周波数1-2kHz、10-200パルス、単位面積当たりのエネルギー量50-200mJ/㎠で、フレキシブル基板上のアモルファスシリコン層に照射します。これにより、樹脂基材の表面温度が一度も500K（約227℃）を超えず、液晶ディスプレイなどのフレキシブルな電子機器に適した基板を製造することが可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子機器製造業半導体製造業材料研究開発

次世代のフレキシブルディスプレイの開発

フレキシブルディスプレイの需要が高まる中、本特許の技術は、耐熱性と柔軟性を兼ね備えた新たなフレキシブル基板の製造を可能にします。これにより、より薄く、軽く、曲げやすいディスプレイの開発が可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2019-508140
発明の名称: フレキシブル基板の製造方法
出願人／権利者: 国立大学法人　琉球大学
住所: 沖縄県中頭郡西原町字千原１番地
公開番号: WO2018/179377
登録番号: 特許第6718638号

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