光の偏光状態を解析する新しいエリプソメトリ装置

兵庫県公立大学法人

兵庫県姫路市南駅前町１２３

この技術でできること

光の偏光状態を解析し、物体の物理的特性を把握するエリプソメトリ装置の特許です。

相談したいこと

技術の特徴

この特許は、物体から放射される光の偏光状態を解析し、物体の物理的特性を把握する新しいエリプソメトリ装置に関するものです。この装置は、偏光係数生成部と演算部を備えています。偏光係数生成部は間周波数スベペクトルを生成し、演算部はこれを用いて空間周波数毎にs偏光の振幅反射係数に対するp偏光の振幅反射係数の比を算出します。さらに、この装置は光の偏光状態を設定する偏光設定器、物体光ホログラムと参照光ホログラムを取得・保存する部分、偏光分離部、インライン化部、光波再生部などを含みます。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 光学機器製造業研究開発業精密機器製造業

光学的特性の解析ツールとしての活用

この装置は物体から放射される光の偏光状態を解析する能力を持っています。これは、物体の光学的特性を詳しく解析するためのツールとして利用できます。例えば、新しい材料の開発や既存の材料の特性評価に活用できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2018-535670
発明の名称: エリプソメトリ装置およびエリプソメトリ方法
出願人／権利者: 兵庫県公立大学法人
住所: 兵庫県姫路市南駅前町１２３
公開番号: WO2018/038064
登録番号: 特許第6817642号

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