革新的な荷電粒子検出テクノロジー

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

非真空の圧力下で荷電粒子をリアルタイムで検出する方法

相談したいこと

技術の特徴

本発明は、電子やイオン等の荷電粒子を、非真空の圧力下でも10%~10% Torrの範囲で容易に検出する技術を提供します。シンチレータや半導体荷電粒子検出器などの従来の検出器と異なり、本発明は高いエネルギーを持つ粒子だけでなく、低エネルギーの粒子も検出することが可能です。また、高い真空度を必要とせず、大気中でも利用可能であるため、荷電粒子発生源の位置をリアルタイムで把握することができます。これにより、荷電粒子の検出と測定がより容易になり、幅広い産業分野での応用が期待されます。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業医療機器製造業研究・開発業

半導体製造プロセスでの活用

半導体製造プロセスでは、微細な荷電粒子が製品の品質に大きな影響を及ぼす可能性があります。本発明の技術を用いることで、製造プロセス中に発生する荷電粒子をリアルタイムで検出し、それによる品質低下を未然に防ぐことが可能になります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2018-529832
発明の名称: 荷電粒子検出用材料並びにそれを用いた荷電粒子検出膜および荷電粒子検出液
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: WO2018/021160
登録番号: 特許第6980282号

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