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高精度な高周波特性検査装置

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)

この技術でできること

高周波特性を測定するための高精度な装置とその校正方法を提供する特許技術です。

技術の特徴

本特許技術は、対向する一対の高周波プローブを使用して、平面回路の高周波特性を測定する装置とその校正方法に関するものです。この装置は、平面回路のシグナル領域に対してプローブを接触させ、その接触位置(Z軸方向の深さ)を高周波の反射特性に基づいて決定します。さらに、X軸とY軸方向にプローブを移動させ、高周波の位相特性を測定し、その位相特性が極値となる位置を基準位置として決定します。これにより、高精度の高周波特性測定が可能となります。また、制御装置を用いてステージコントローラと計測装置を制御し、基準位置を校正する方法も提供します。この特許は、高周波特性の検査装置の校正方法を実行するプログラムやプログラムを記録した記憶媒体にも適用可能です。

関連キーワード

高周波特性プローブ校正方法制御装置平面回路

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子部品製造業電気機器製造業計測器製造業

高精度な回路設計のための利用

高周波を用いた電子回路の設計や評価において、本特許技術を利用することで、高精度な回路設計が可能となります。特に高周波特性が重要な役割を果たす電子部品の設計において有用です。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号
特願2018-519139
発明の名称
高周波プローブ位置補正技術
出願人/権利者
国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所
茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)
公開番号
WO2017/203876
登録番号
特許第6562489号
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