革新的な製造技術で大面積化が可能な双極型静電チャックモジュール

国立大学法人東京工業大学

この技術でできること

3Dプリンターを用いた導電性と絶縁性材料の組み合わせで製造される双極型静電チャックモジュール

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、導電性材料と絶縁性材料を用いて、3Dプリンターで製造される双極型静電チャックモジュールの製造方法を提供しています。このモジュールは、正極と負極間に絶縁体を配置することで、物体を吸着または脱離する能力を持つ静電チャックの機能を有します。さらに、3Dプリンターが熱溶解積層法であること、導電性材料が導電性樹脂フィラメントであることが特徴です。この技術により、吸着面に微細毛構造を有し、大面積化を可能にする静電チャックモジュールを効率的に製造することが可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業精密機器製造業マイクロファブリケーション業界

静電チャックの大面積化による生産効率向上

大面積の静電チャックモジュールを製造することで、一度に多くの物体を吸着、脱離することが可能となり、生産効率を向上させることができます。また、微細毛構造を有する吸着面は、表面形状を有する物体に対しても強力な吸着力を発揮します。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2018-503354
発明の名称: 双極型静電チャックモジュールおよびその製造方法
出願人／権利者: 国立大学法人東京工業大学
住所: 国立大学法人東京工業大学
公開番号: WO2017/150574
登録番号: 特許第6846821号

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