光コムによる精密かつ広範囲な形状測定装置

国立大学法人電気通信大学

東京都調布市調布ケ丘１丁目５−１

この技術でできること

ナノメートル単位の測定分解能とメートルオーダーの測定範囲を実現する形状測定装置を提供する。

相談したいこと

技術の特徴

この発明は、光コムを用いた形状測定方法及び装置に関するもので、光パルス列が時系列に番号順に複数配された状態で被測定物体に照射されます。光パルス列は、時系列で隣り合う光パルス同士の位相がずれており、番号順に時間間隔を空けて配され、互いにコヒーレント（一定の位相関係を保つ）です。この光パルス列が被測定物体の異なる位置に作用した結果を受光対象光パルス列として取り込み、その差分を利用して被測定物体の形状を測定します。これにより、ナノメートルオーダーの高精度な測定と、メートルオーダーの広範囲な測定が可能となります。

AIによる特許活用案

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工業製品の精密な形状測定

当該技術は、製造プロセスにおける工業製品の形状測定に利用することができます。製品の微細な部分の形状やサイズを高精度に測定することが可能となり、品質管理を一層向上させることができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2018-502540
発明の名称: 形状測定方法及び形状測定装置
出願人／権利者: 国立大学法人電気通信大学
住所: 東京都調布市調布ケ丘１丁目５−１
公開番号: WO2017/149912
登録番号: 特許第6820020号

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