革新的な湾曲加工技術で新次元の光導波路を実現

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

異方性エッチングによる光導波路の湾曲加工方法で、高性能な光デバイスを作成します。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、基板上に支持層形成用出発層と光導波路形成用出発層を積層し、これをパターン化して光導波路を形成する工程から始まります。次に、光導波路の上に直接もしくは制御層支持層を介して、光導波路の片持ち梁構造の曲がり始める位置を決定する位置制御層を形成します。これは異方性エッチングにより行われ、その後で光導波路に先端自由端を有する片持ち梁構造を形成します。そして、位置制御層をマスクとして片持ち梁構造の一部にイオンを照射し、片持ち梁構造の一部を湾曲させて垂直光カプラとする工程を含みます。この湾曲加工方法を使用することで、高性能な光導波路デバイスの製造が可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 デバイス製造業光通信業半導体業界

高性能な光通信デバイスの製造

本特許の湾曲加工技術を利用すれば、高度な光導波路の形状制御が可能となり、これにより通信速度や伝送距離を大幅に向上させることができる高性能な光通信デバイスを製造することができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2018-501107
発明の名称: 薄膜部材の湾曲加工方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: WO2017/145706
登録番号: 特許第6741921号

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