革新的な窒素化合物製造法とその装置

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

マイクロ波プラズマを利用した窒素化合物の製造方法及びその製造装置に関する特許です。

相談したいこと

技術の特徴

この特許は、マイクロ波プラズマを利用した窒素化合物の製造方法及びその製造装置に関するものです。特に、窒素化合物を製造する際の圧力を1kPa以上に設定し、マイクロ波の投入エネルギーを500ワット以下に制限することを特徴としています。また、ノズルを2個以上重ねて並べ、各ノズルから原料ガスを基材の表面に向けて流量を制御しながら吹き出し、マイクロ波を印加することでプラズマを生成し照射します。基材がTiである場合、窒素化合物としてTiNを製造します。さらに、窒素系活性種の量を計測し制御する装置も含まれています。

AIによる特許活用案

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高効率化合物半導体の製造

この特許の方法は、半導体技術分野において、特にGaN系化合物半導体を材料とする青・緑色発光ダイオード(LED)の製造に有効です。高硬度化、耐食性付与、耐摩耗性付与などの表面機能を付与する高密度窒素系活性種供給法を利用することで、効率的にLEDを製造することが可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2017-548816
発明の名称: 窒素化合物の製造方法及び製造装置
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: WO2017/078082
登録番号: 特許第6590420号

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