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高感度でガスを検出する次世代センサー

富士通株式会社

神奈川県川崎市中原区上小田中4-1-1

この技術でできること

特許技術による高感度ガスセンサとその使用方法

技術の特徴

本特許は、ガスを超高感度で検出するためのガスセンサとその使用方法に関するものです。このガスセンサは、導電層、半導体層、バリア膜、グラフェン層、ソース電極、ドレイン電極、ゲート電極、保護膜を含む構造を持つとともに、バイアス電源と電流モニタリング装置が接続されています。グラフェン層に付着するガスは、半導体層の電気特性に基づいて検知されます。加えて、ガスセンサの使用方法も提案されており、グラフェン膜の仕事関数の変化量に相当する物理量を検出する工程を有することが特徴となっています。これにより、ppbレベルの高感度でガスを検出することが可能となります。

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高感度ガスセンサの開発

この特許技術を用いて、ppbレベルでガスを検出できる高感度ガスセンサを開発することが可能です。特に医療分野では、呼気中の特定の化学物質の含有量を検出することで、病状の診断に役立てることができます。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2017-526396
発明の名称
ガスセンサ及びその使用方法
出願人/権利者
富士通株式会社
住所
神奈川県川崎市中原区上小田中4-1-1
公開番号
WO2017/002854
登録番号
特許第6687862号
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