革新的な真空部品とその排気方法

国立研究開発法人日本原子力研究開発機構

茨城県那珂郡東海村村松４番地４９

この技術でできること

高効率の真空部品とその排気方法を提供し、ゲッター作用によって排気を行う。

相談したいこと

技術の特徴

本製品は、厚さが100nm以上のTiを含むTi層を有する真空容器を具備しています。表面には、Ti酸化物が形成されないTi層、または、Ti層の上に直接形成された厚さが1nm以下、または表面酸素濃度が20atom%以下とされたTi酸化物層が存在します。更に、Ti、ジルコニウム(Zr)、バナジウム(V)、ハフニウム(Hf)、ニオブ(Nb)のいずれかであるNEG材料、またはパラジウム(Pd)、金(Au)、銀(Ag)、プラチナ(Pt)のいずれかである貴金属を含むユーティング層が直接形成されています。このコーティング層は、真空容器の内面に存在し、真空チャンバを排気する対象となります。その内部には電極と不活性ガスを導入するガス導入口が存在し、電極面と内面の電位を切り替えてDC放電を発生させ、排気を行います。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体産業電子機器製造業研究開発

高効率な真空部品の開発

本特許の技術を用いて、高効率な真空部品の開発が可能です。特に、ゲッター作用を活用することで、電力を必要とせず、無振動で排気を行うことができます。これは、半導体装置やMEMSなどのデバイス内部で排気を行うポンプとして有効です。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2021-122848
発明の名称: 真空部品、これを用いた真空排気方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
住所: 茨城県那珂郡東海村村松４番地４９
公開番号: 特開2022-027577
登録番号: 特許第7195504号

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